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本報記者 施露

據(jù)必聯(lián)網(wǎng)5月23日發(fā)布的中標結(jié)果公告顯示，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯迦能的雙燃燒+雙水洗尾氣處理設(shè)備中標特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項目，中標數(shù)量為23臺。

據(jù)悉，自2022下半年開始，萬業(yè)企業(yè)子公司嘉芯半導體多次中標多款設(shè)備，包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

萬業(yè)企業(yè)持續(xù)支持國產(chǎn)設(shè)備的成長與研發(fā)，以自主研發(fā)與外延式并購雙輪驅(qū)動戰(zhàn)略布局半導體設(shè)備材料賽道。目前公司旗下的凱世通和嘉芯半導體已疊加形成多個半導體前道核心設(shè)備產(chǎn)品線，業(yè)務(wù)覆蓋離子注入機、刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理等多類設(shè)備。公司以國內(nèi)獨有的“1+N”半導體設(shè)備平臺公司的多品類賽道，致力于推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)的蝶變躍升。

（編輯 田冬）